ASM爐管是集材料、溫控、自動(dòng)化于一體的高端裝備，主要用于集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等領(lǐng)域的芯片制造。

ASM爐管三大工藝：

氧化（Oxidation）：將硅片置于氧氣或水汽環(huán)境中高溫處理，在表面形成氧化膜，用于保護(hù)硅片、制作電容器和隔離層。技術(shù)關(guān)鍵在于控制加熱速率、溫度及氧氣流量，確保薄膜均勻性。

擴(kuò)散（Diffusion）：通過(guò)高溫將磷、硼等摻雜材料擴(kuò)散至硅片內(nèi)部，改變其電學(xué)性能。分為替位式擴(kuò)散（雜質(zhì)原子占據(jù)晶格空位，如硼、磷）和填隙式擴(kuò)散（雜質(zhì)原子在晶格間隙移動(dòng)，如鎳、鐵）。

退火（Anneal）：通過(guò)階梯式加熱和緩慢冷卻修復(fù)離子注入造成的晶格缺陷，激活雜質(zhì)原子、改善材料性能及形成合金接觸。

       爐管里的機(jī)器人（Furnace Robot）主要用于半導(dǎo)體材料的熱處理工藝，例如將半導(dǎo)體材料放入加熱爐管進(jìn)行熱處理。

          ASM爐管機(jī)器人工作內(nèi)容：位于爐管設(shè)備的側(cè)面，用于自動(dòng)化地將硅片從盒中取出并放入爐管內(nèi)，或者在處理完畢后將其取出。

ASM爐管機(jī)器人關(guān)鍵技術(shù)特點(diǎn)

精密運(yùn)動(dòng)控制：通過(guò)伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)亞毫米級(jí)以上高精度定位，確保材料傳輸?shù)臏?zhǔn)確性。

溫度監(jiān)測(cè)與控制：集成溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控爐管內(nèi)部溫度，并通過(guò)算法動(dòng)態(tài)調(diào)整加熱參數(shù)。

環(huán)境適應(yīng)性：需耐受高溫、真空等特殊環(huán)境，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。